高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择

高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择

近20年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不*一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。   高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择 主要产品：SADP露点仪|在线露点仪| 肖氏露点传感器|肖氏露点仪|顶空分析仪|药品残氧仪|压缩空气露点仪|Mocon透氧仪|膜康透湿仪|PBI顶空分析仪|露点仪品牌|露点仪价格|露点仪批发|Hitech氧气分析仪|Hitech热导气体分析仪|Hitech氢气分析仪|露点仪厂家 

对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。”日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次： 

1.超高纯气体    气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。
2.高纯气体       气体中杂质总含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内。
3.洁净气体      气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择 

  上述规定，都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。

英国SHAW在线露点仪Superdew3 

1． 量程可选如下：` 

 SUPER-DEW3 -R    红点（R）：   -80～-20℃ 

 SUPER-DEW3 -P    紫点（P）：   -100～0℃ 

 SUPER-DEW3 -G   灰点（G）：   -80～0℃ 

 SUPER-DEW3 -Y   黄点（Y）：   -60～0℃高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择 

 SUPER-DEW3 -RS    银点（S）：   -100～-20℃ 

2、英国SHAW在线露点仪Superdew3特性：  

★ 在线测定各种气体的露点温度 

★ 干燥气体时的保证精度为1PPM 

★ 室内空气中一分钟自动校准 

★ 大型背光式液晶数字显示 

★ 标准的4～20MA或0～1号输出 

技术参数 

二次表：（SuperDew） 

★ 显示精度：1% 

★ 安装类型：面板安装, 开口尺寸：135mmx66mmx175mm（深） 

★ 显示：3 1/2位带背光的数字显示 

★ 供电：220V AC @50Hz 

★ 输出：4-20mA标准信号输出, 两路继电器高低报警输出240V @3A 

★ 校准：在空气中自动校准 

★ 可任意调节的高低报警输出 

★ 传感器到仪表之间的距离可达1千米 

★ ISO 9002质量控制高纯/特种气体的概念及供气系统及进口便携式露点仪品牌的选择 

★ 可选量程:-100℃～0℃/-80℃～0℃ 

3．测量精度：+/-3℃ 

4．样气压力：1～30psi,本传感器可耐压到200Bar 

5．样气流量：1～5升/分钟，建议1升/分钟 

6．气路连接：1/4”或 1/8”卡套接头 

7．防    爆：传感器本安防爆，增加隔离栅选件可组成防爆检测系统 

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